C0029 真空チャンバー

対応内容

対応時期

2020年4月

 

納入領域

半導体

 

用途

真空容器

 

手配範囲

材料、切削、溶接、研磨、検査

 

主要材質

SUS304

 

主な板厚

1mm, 3mm, 18mm 20mm

 

概略寸法

φ500*120L 他

 

仕様

真空、水密、加圧

 

案件の特徴

3体で1式物の水冷式の真空チャンバーを製作した。約2ヶ月にて計15体の製作を行った。電解研磨を行った。ジャケット部に耐圧試験を行った。Heリークテストを行った。

 

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