対応事例

事例番号

C0028

 

対応内容

製作

 

対応月

2019年1月

 

概要

真空チャンバー

 

納入領域

半導体

 

用途

真空容器

 

手配範囲

材料、切削、溶接、研磨、検査

 

主要材質

SUS304

 

概略寸法

600*500*100

 

仕様

真空、水密、加圧

 

案件の特徴

3体で1式物の水冷式の真空チャンバーを製作した。約2ヶ月にて製作を行った。電解研磨を行った。ジャケット部に耐圧試験を行った。Heリークテストを行った。

 

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